Prozessnahe indirekte Oberflächencharakterisierung von laserchemisch gefertigten Abtragskonturen

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Zusammenfassung Die Fertigungsgeschwindigkeit der chemischen Laserbearbeitung (LCM) ist derzeit begrenzt, um störende Siedeblasen in Prozessflüssigkeit zu vermeiden. Eine Erhöhung erfordert eine Anpassung des Laserstrahls oder Lasereigenschaften. Das derzeitige Verständnis Mechanismen Oberflächenabtrags für gezielte jedoch unzureichend. Für ein besseres Prozessverständnis bzw. präzise Prozessmodellierung sind prozessbegleitende Messungen Oberflächengeometrie, Oberflächentemperatur und erforderlich. Aufgrund komplexen Prozessumgebung existiert keine geeignete In-Prozess-Messtechnik. Deshalb wird indirekter Ansatz zur Geometriemessung auf Basis konfokalen Fluoreszenzmikroskopie untersucht, das Potenzial prozessnahe Anwendung im LCM-Prozess bietet. Im Ergebnis gezeigt, dass die Mikrogeometrie verschiedener Oberflächen unter LCM-äquivalenten Prozessbedingungen wie dicken Flüssigkeitsschichten Gasblasen Strahlengang indirekt messbar ist. Darüber hinausgehend ermöglicht Messaufbau kombinierte fluoreszenzbasierte von Geometrie Temperatur.

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ژورنال

عنوان ژورنال: Tm-technisches Messen

سال: 2022

ISSN: ['2196-7113', '0171-8096']

DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2022-0044